OptiLayer 光学薄膜设计软件

制造商：OptiLayer GmbH
OptiLayer 软件包含两种模式：光谱模式和角度模式。原则上，软件可以工作在任意角度或者光谱范围内，并且数据取样点间隔实际可以认为是无限小的。在这两种模式下，设计目标值和测量数据都能够按照光谱参数和角域来设定。

OptiLayer三个模块的功能及其解说

一、OptiLayer 模块

OptiLayer 模块的功能同大多数软件差不多，不同处在于：1.能解决其它软件不能再优化的问题；2.运算速度快，比同时期的同类软件快数百倍。其具体原因可参考针式算法专题。

二、OptiChar模块

OptiChar模块主要通过镀膜材料实测光学特性参数(某波段范围内的反射率和透过率曲线)给出一评估曲线，再通过在某一基底下，考察给定薄膜理论中一些因素(厚度、折射率、消光系数和不均一性)时，拟合出在当前考察因素下，较接近镀膜材料实测出的光谱特性评估曲线的层材料光谱特性曲线，进而给出此时的层材料模型(包含层材料的厚度、折射率、消光系数和不均一性)。拟合得越好则给出的层材料模型越接近当前镀膜条件下的实际情况。且在考察和不考察某一因素时，如果拟合状况无多大变化，则说明当前考察的光学特性(反射或透过)对该因素不敏感。即该因素对当前考察的光学特性无多大影响。因而再利用该层材料作设计且为当前考察的光学特性时，可以忽略该因素的影响而不去考虑它。

如上表即薄膜理论中较重要的一些因素：不均一性、消光系数和表面粗糙度对某一层材料实际测得的光谱特性(反射和透过)的影响程度。由上表我们可知在利用该层材料模型做设计时，若设计只考虑反射时，则该三因素中只需考虑不均一性；同理若设计只考虑透过时，则该三因素中需考虑不均一性和消光系数。

三、OptiRE模块

OptiRE这一模块为工程反演，其主要目的为向生产过程提供一个回馈。

OptiRE中采用一差异函数比较设计模型光谱特性和生产后薄膜实验测得的光谱特性， OptiRE的工程反演运算法则是基于使该差异函数值最小。（OptiLay模块的优化设计则是优化比较理论和目标光谱特性的评价函数值）

为提高生产质量，我们需要消除或者使误差最小。在OptiRE中我们考察两类生产误差：系统误差和随机误差。

系统误差是那些在下一次沉积或加工时还会发生的误差。系统误差通过工程反演知道并能通过采用具有更精确刻度的监测装置；而由工程反演得出的随机误差信息能被用来研究生产误差产生的原因。

OptiRE中还考察折射率修正、系统不均一性等生产过程中产生的一些实际问题。注意：应优先考察系统误差。

OptiLayer 薄膜软件特色

OptiLayer 软件包括三个模块，它们共用一个数据 库，能够轻松的实现数据交换：

• OptiLayer：设计，评估，预生产误差分析， 生产过程监控及实现计算制造；

• OptiChar：基于分光光度计及椭偏仪检测数 据，分析膜层光学特性；

• OptiRE：基于检测数据，对已镀制膜层反演 分析计算。

OptiReOpt 函数库主要用于在薄膜生产制备过程中，实时分析薄膜特性参数并对其进行重复优化。 它要求沉积装置带有分光光度计和椭偏仪等监测仪器

OptiLayer 采用了更新的软件设计理念，其独树一帜的核心算法具有极高的专业水准。

• OptiLayer 可在有装Ｗindows XP SP3，Windows Vista，Windows 7，Windows 8及 8.1 的计算机上流畅的运行；

• OptiLayer 具有良好的用户界面，易于使用；

• 程序安装简便，安装过程只需数分钟；

• OptiLayer 带有上下文关联的帮助系统以及高阶用户手册；

• 安装包含有一系列设计实例，它能够快速的让用户掌握 OptiLayer 的设计理念；

• 安装包包含基底及膜层材料目录。