Calibre WORKbench

制造商：Mentor Graphics

Calibre WORKbench是一个易于使用的环境，用于创建准确的流程模型和经过测试的、生产就绪的工具设置文件。经批准的模型和设置文件可移交给生产用户，以推动交钥匙IC布局RET处理。Calibre WORKbench软件为硅测量创建测试模式，并运行测试作业来测试和可视化模型和设置文件的输出。Calibre WORKbench包含一个快速、高容量的布局查看器，用于GDSII和fracture格式，具有易于使用的交互式光刻模拟和可视化功能

Calibre WORKbench还可用于高级单元库设计，并与流行的布局编辑器紧密集成。Calibre WORKbench的功能包括：

支持标准和自定义照明源类型（顶帽、环形、四极、类星体、偶极子、自定义）。

用于高NA矢量建模的薄膜堆栈生成，TCCcalc。

与光刻模拟器和编辑器集成的快速布局查看器支持GDSII和断裂格式。

高级工艺模型（光刻胶、蚀刻等）通过VT5启用默认或用户定义的卷积形状和图像参数。

模拟布局视图：光学强度图、晶圆上的打印图像、碎片位置、二维截面强度图、多级打印图像轮廓。

支持在小型选定区域执行Calibre批处理工具，以进行快速测试。