Calibre nmOPC

制造商：Mentor Graphics

Calibre nmOPC是第三代光学邻近校正（OPC）工具，它扩展了分辨率增强技术（RET）产品的口径库，用于亚65纳米（nm）工艺技术。Calibre nmOPC工具和配套的OPC验证工具Calibre OPCverify以业界最高的性能和最低的拥有成本提供了卓越的模拟精度，开创了计算光刻技术的新时代

Calibre nmOPC工具提供了一流的准确性、速度和拥有成本。与所有Calibre系列产品一样，Calibre nmOPC运行在完全集成的Calibre Hierarchy geometry engine上，独特地实现了完全集成的设计，以使用统一的命令语言屏蔽流。Calibre nmOPC还支持OASIS输出格式，以最小化输出文件大小。Calibre nmOPC中的流线型层次处理算法使该工具能够利用自然设计层次结构，与平面处理工具相比，提高周转时间、计算效率和吞吐量。

特点和优点：

可选择稀疏模拟和密集模拟，逐层可选

过程窗口优化OPC

利用协处理器加速的混合计算平台

紧凑的抗蚀建模能力

设计意图感知校正算法