TCAD

Silvaco TCAD提供了工艺模拟和器件模拟；Athena是一套通用的、具有标准组件以及可拓展性的一维和二维制程模拟器，可用于Si或其它材料的工艺开发。

Athena由四套主要的工具组成：SSuprem4用于模拟Si工艺的implantation, diffusion, oxidation and silicidation；Flash用于模拟先进材料工艺的implantation, activation and diffusion；Optolith用于lithography模拟；Elite用于topography模拟。Athena还提供了硅化物建模和ion implantation, etching和deposition的Monte Carlo建模方法。

Atlas是一套通用的、具有标准组件以及可拓展性的一维和二维器件模拟器。Atlas适用所有的半导体工艺器件模拟，包括两个主要的模拟器：S-Pisces用于Si器件模拟; Blaz模拟先进材料构成的器件和复杂的构造。Giga, MixedMode, ESD, TFT, Luminous和LASER提供给S-Pisces和Blaz专门的功能。Giga支持非等温计算；MixedMode可以模拟如下电路：部分器件用到SPICE Model，部分用到Atlas Model；ESD模拟静电效应；TFT添加了模拟无定型和多晶材料构成的器件需要的model；Luminous加入包括光线轨迹跟踪的光电子作用；LASER支持半导体LASER器件的模拟。

Silvaco TCAD功能强大，操作简便，例子库相当丰富，是初学TCAD用户比较好的选择。